SEMI S2认证和遵守法规的途径
对于制造商而言，SEMI安全的核心是S2，即《半导体制造设备的环境，健康和安全指南》。
实际上，其他产品安全准则可以视为支持S2。面向职业健康和安全的指南通常与制造商无关。
SEMI S2认证指南是由SEMI行业的领导者制定的，以确保每台设备都符合法规要求，并经过严格的安全标准检查。主要包括消防，电气危险防护，减轻机械危险，化学，辐射，噪声和人体工程学危险，通风要求，紧急停机程序，排气规格，危险警告警报和标签，文件要求等。
S2评估通常是买家作为保障的要求，并且可以作为出售的条件。
SEMI S2标准涵盖了半导体制造设备的环境、健康及安全条件，是一个综合性的标准。代表了半导体厂家的基本安全要求，而半导体行业离不开特种气体。
因为半导体行业涉及到很多特种气体、化学品及电气、厂务、游离及非游离的辐射，所以在设备厂商进行设计时要引入SEMI S2标准，也即为EHS标准。这一点是非常重要的，如果处理不好，下游用户在使用是时候就很容易导致事故甚至灾难。
SEMI S2认证评估
在电气/机械安全，化学暴露评估，通风，噪声，电离辐射，非电离辐射，激光，环境影响评估以及SEMI S2认证指南要求的其他专业领域通常SEMI S2评估将需要以下评估以支持核心S2评估：
提供给用户的文件
危险警告标签
安全联锁系统
紧急关机
电气设计
防火保护
加热化学浴
人机工程学和人为因素
危险能量隔离
机械设计
抗震保护
自动化物料搬运员
环境考量
排气通风
化学制品
电离辐射
非电离辐射和场
镭射 放射性物质
声压等级
SEMI S2在认证中综合考虑了与设备相关的使用者文件、危险性警告标志、安全连锁装置、紧急停机、电气安全、消防安全、人体工学、危险能量隔离、机械设计安全、地震保护、自动机械设备、环境因素、排气、噪音等内容。以确保设备本身安全及对环境、对人员的安全性。